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LOTERRE

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Concept information

Preferred term

dispositif micro-opto-électromécanique  

Definition(s)

  • Dispositif qui combine des fonctions électroniques, optiques et mécaniques sur un support obtenu par des techniques dérivées de celles utilisées pour la fabrication des circuits intégrés [Source : INIST]

Synonym(s)

  • dispositif microoptoélectromécanique
  • microsystème opto-électromécanique

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URI

http://data.loterre.fr/ark:/67375/RDR-RZWJNFP8-H

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RDF/XML TURTLE JSON-LD Last modified 3/21/19