Concept information
Terme préférentiel
dépôt par faisceau électronique
Synonyme(s)
- dépôt induit par faisceau électronique
Appartient au groupe
Traductions
-
anglais
-
electron-beam induced deposition
-
espagnol
-
deposición inducida por haz de electrones
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/NHT-RVLXVKKM-S
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