Concept information
Terme préférentiel
pulvérisation cathodique
Définition(s)
- Méthode de dépôt de couche mince qui permet la synthèse de matériaux à partir de la condensation d'une vapeur métallique issue d'une source solide (cible) sur un substrat. (d'après wikipédia)
Appartient au groupe
Traductions
-
anglais
-
cathode sputtering
-
espagnol
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/NHT-F9B21VF3-H
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