Concept information
Término preferido
método PECVD
etiqueta alternativa (skos)
- deposición química en fase vapor por plasma
Pertenece al grupo
- Design (en)
En otras lenguas
-
francés
-
dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma
-
inglés
-
plasma enhanced chemical vapor deposition
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/NHT-GW8H61NC-V
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