Concept information
Preferred term
dépôt chimique en phase vapeur
Definition(s)
- Méthode de dépôt sous vide de films minces, à partir de précurseurs gazeux. (d'après wikipédia)
Synonym(s)
- CVD
Belongs to group
In other languages
-
English
-
CVD
-
Spanish
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/NHT-PSF4909T-D
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