Concept information
Preferred term
photolithographie
Definition(s)
- Ensemble des opérations permettant de transférer une image (généralement présente sur un masque) vers un substrat. Cette technique est très utilisée dans l'industrie du semi-conducteur. (d'après wikipédia)
Belongs to group
In other languages
-
English
-
Spanish
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/NHT-FGL6FB7Z-H
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