Concept information
Terme préférentiel
litografía por haz de electrones
Concept(s) générique(s)
Synonyme(s)
- litografía por e-beam
Traductions
-
allemand
-
anglais
-
e-beam lithography
-
français
-
lithographie électronique
-
lithographie par faisceau électronique
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-VL5NX6FZ-V
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