Concept information
Terme préférentiel
electron beam lithography
Concept(s) générique(s)
Synonyme(s)
- e-beam lithography
Traductions
-
allemand
-
espagnol
-
litografía por e-beam
-
français
-
lithographie électronique
-
lithographie par faisceau électronique
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-VL5NX6FZ-V
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}