Concept information
Terme préférentiel
photolithography
Concept(s) générique(s)
Concept(s) spécifique(s)
Synonyme(s)
- optical lithography
- photolithographic process
Traductions
-
allemand
-
Photolithographie
-
espagnol
-
litografía óptica
-
français
-
lithographie optique
-
masquage optique
-
masquage photographique
-
photomasquage
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-LJL82CDG-L
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