Concept information
Terme préférentiel
lithographie à rayons X
Concept(s) générique(s)
Synonyme(s)
- lithographie RX
Traductions
-
allemand
-
Röntgenlithographie
-
Röntgenstrahlen-Lithographie
-
anglais
-
espagnol
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-FJ8KML81-G
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