Concept information
Término preferido
lithographie par faisceau d'électrons
Concepto genérico
etiqueta alternativa (skos)
- lithographie électronique
- lithographie par faisceau électronique
En otras lenguas
-
alemán
-
español
-
litografía por e-beam
-
inglés
-
e-beam lithography
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-VL5NX6FZ-V
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