Concept information
Término preferido
litografía por haz de electrones
Concepto genérico
etiqueta alternativa (skos)
- litografía por e-beam
En otras lenguas
-
alemán
-
francés
-
lithographie électronique
-
lithographie par faisceau électronique
-
inglés
-
e-beam lithography
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-VL5NX6FZ-V
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