Concept information
Preferred term
lithographie par faisceau d'électrons
Broader concept(s)
Synonym(s)
- lithographie électronique
- lithographie par faisceau électronique
In other languages
-
English
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e-beam lithography
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German
-
Spanish
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litografía por e-beam
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-VL5NX6FZ-V
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