Concept information
Preferred term
litografía por haz de electrones
Broader concept(s)
Synonym(s)
- litografía por e-beam
In other languages
-
English
-
e-beam lithography
-
French
-
lithographie électronique
-
lithographie par faisceau électronique
-
German
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/FMC-VL5NX6FZ-V
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