Concept information
Terme préférentiel
electron beam lithography
Appartient au groupe
Traductions
-
espagnol
-
litografía por haz electrónico
-
français
-
lithographie par faisceau électronique
URI
http://data.loterre.fr/ark:/67375/BJW-SDP20NQJ-C
{{label}}
{{#each values }} {{! loop through ConceptPropertyValue objects }}
{{#if prefLabel }}
{{/if}}
{{/each}}
{{#if notation }}{{ notation }} {{/if}}{{ prefLabel }}
{{#ifDifferentLabelLang lang }} ({{ lang }}){{/ifDifferentLabelLang}}
{{#if vocabName }}
{{ vocabName }}
{{/if}}